三、規(guī)格參數(shù):
坐標(biāo)測(cè)量行程(mm)X向:150 Y向:75
X、Y坐標(biāo)測(cè)量分辨率:0.001mm
X、Y坐標(biāo)示值準(zhǔn)確度:(2+L/50)μm 其中L—被測(cè)長(zhǎng)度,單位為mm
顯微鏡立柱傾斜范圍:±15°
顯微鏡立柱傾斜分度值:30′
圓工作臺(tái)直徑(mm) 280
圓工作臺(tái)角度分度值: 3′
顯微鏡懸臂伸出長(zhǎng)度(mm):180
頂針架夾持直徑和長(zhǎng)度:φ70mm 長(zhǎng)190mm
物鏡放大率、 工作距離及視場(chǎng)直徑
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物鏡放大率 |
總放大率 |
工作距離(mm) |
視場(chǎng)距離(mm) |
|
1× |
10× |
≈79 |
≈20 |
|
3× |
30× |
≈69 |
≈6.7 |
|
5× |
50× |
≈49 |
≈4 |
光學(xué)定位器的主要技術(shù)參數(shù)
最小探測(cè)孔徑 φ5mm
最大探測(cè)深度: 15mm
測(cè)量力 0.1N
定位穩(wěn)定性 0.001mm
測(cè)頭直徑的檢定極限誤差 0.0005mm
儀器主機(jī)外形尺寸(mm) 長(zhǎng)×寬×高=720×460×600
儀器總重: 100KG |